Technologies des composants intégrés et MEMS
Master Physique appliquée et ingénierie physiqueParcours Systèmes électroniques et microélectroniques
Description
Cet enseignement permet :
— De sensibiliser les étudiants à l’émergence des MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), des MOEMS (Micro Opto Electro Mechanical Systems) dans le monde industriel, dans le quotidien et dans le monde biomédical.
— D'expliquer toutes les étapes de fabrication de la micro-électronique et des micro-systèmes.
— D'illustrer, par de nombreux exemples (extraits d’articles de recherche notamment), les applications industrielles, très variées des microsystèmes.
— De donner aux étudiants de solides notions sur les aspects technologiques des microsystèmes.
- d’utiliser/rechercher des ressources issues des publications scientifiques mondiales
Compétences requises
- Connaitre les principaux effets physiques que l’on retrouve dans les applications micro-électroniques.
- Connaitre les bases de fabrication des circuits intégrés/MOSFETs en salle blanche
Compétences visées
Connaissances approfondies des MEMS et des MOEMS, de leurs applications, de leur élaboration, et de leur mise en œuvre.
Maitrise dans l’utilisation des moteurs de recherche permettant d’obtenir des publications ciblées dans les revues scientifiques mondiales du domaine.
Durant ce cours, 2 études seront faites, nécessitant de travailler en petit groupe.
Une 1ère étude consistera à chercher, puis étudier un MEMS/MOEMS du commerce, puis l’exposer devant la promo, en mettant l’accent sur l’application, et sur le MEMS/MOEMS
Une 2ème étude se focalisera sur une application dans la récupération d’énergie (Power Harvesting) via un MEMS – Cette étude nécessitera de rechercher des articles scientifiques accessibles dans l’environnement Unistra, permettant de faire l’étude.
Nous sommes ici dans le cas de la formation par la recherche : Cette étude permettra à l’étudiant de maitriser l’environnement de recherche (dans les bases de données scientifiques).
Modalités d'organisation et de suivi
La note finale, pour cet enseignement, sera composé des notes issues des 2 études explicitées précédemment, et d’un examen final qui portera essentiellement sur les différentes techniques de conception des MEMS/MOEMS
Syllabus
Introduction : Prévision SIA / La microélectronique du futur à moyen et long terme
Les effets physiques - Les matériaux – Les capteurs – Les actionneurs Les sources d’énergie
La fabrication des circuits micro-électroniques et des micro-systèmes
Les technologies clefs (La microstéréophotolithographie, le LIGA, etc…)
Les produits microsystèmes : Les MEMS – Les MOEMS
Les applications dans le monde industriel, dans le quotidien ou dans le biomédical
Les acteurs et leur marché
Bibliographie
L’ensemble des revues / conférences internationales, accessible via l’UNISTRA :
Les revues/conférences IEEE (accessibles via Xplore) en lien avec ce cours
Les revues de l’éditeur Sciences Direct (Sensors and actuators, …) …