Description

Phénomènes physiques auxquels le silicium est sensible et permettant la réalisation de capteurs sur puce :

• effets thermo-électriques,
• galvanomagnétiques,
• piézo-résistifs,
• interaction rayonnement/matière

Calcul de la résolution d’un capteur

Exemples de micro-capteurs sur silicium :

• Micro-capteurs basés sur des effets thermoélectriques (capteur de température, accéléromètre thermique, anémomètre thermique...)
• Micro-capteurs magnétiques (Plaque à effet Hall et « spinning-current », MAGFET, capteur magnétique vibrant)
• Illustration au travers de ces exemples de micro-capteurs de l’avantage de la co-intégration sur la même puce de silicium de l’élément sensible et de l'électronique de conditionnement.
• Exemples d'applications industrielles et médicales.

Démonstration de l’outils de conception de micro-capteur Coventor
 

Compétences visées

Ce cours a pour objectif de fournir à l’étudiant les connaissances fondamentales permettant la réalisation de micro-capteurs sur silicium et de montrer en quoi la co-intégration de l’élément sensible et de l’électronique permet d’améliorer les performances métrologiques du système.

Compétences visées :

1. Disciplinaires

• Savoir décrire et expliquer les quatre effets physiques permettant la réalisation de capteurs sur silicium
• Savoir calculer la résolution d’un capteur
• Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs thermo-électriques vus en cours
• Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs de Hall horizontaux et verticaux
• Savoir expliquer et utiliser le principe du « spinning-current » dans un capteur à effet Hall

2. Transversales

• Savoir rechercher des informations et faire preuve d’analyse critique
• Savoir planifier son travail en pleine autonomie