Description

Phénomènes physiques auxquels le silicium est sensible et permettant la réalisation de capteurs sur puce :

• effets thermo-électriques,
• galvanomagnétiques,
• piézo-résistifs,
• interaction rayonnement/matière

Calcul de la résolution d’un capteur

Exemples de micro-capteurs sur silicium :

• Micro-capteurs basés sur des effets thermoélectriques (capteur de température, accéléromètre thermique, anémomètre thermique...)
• Micro-capteurs magnétiques (Plaque à effet Hall et « spinning-current », MAGFET, capteur magnétique vibrant)
• Illustration au travers de ces exemples de micro-capteurs de l’avantage de la co-intégration sur la même puce de silicium de l’élément sensible et de l'électronique de conditionnement.
• Exemples d'applications industrielles et médicales.

Démonstration de l’outils de conception de micro-capteur Coventor
 

Compétences visées

Ce cours a pour objectif de fournir à l’étudiant les connaissances fondamentales permettant la réalisation de micro-capteurs sur silicium et de montrer en quoi la co-intégration de l’élément sensible et de l’électronique permet d’améliorer les performances métrologiques du système.

Compétences visées :

1. Disciplinaires

• Savoir décrire et expliquer les quatre effets physiques permettant la réalisation de capteurs sur silicium
• Savoir calculer la résolution d’un capteur
• Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs thermo-électriques vus en cours
• Savoir expliquer le principe de fonctionnement des capteurs de Hall horizontaux et verticaux
• Savoir expliquer et utiliser le principe du « spinning-current » dans un capteur à effet Hall

2. Transversales

• Savoir rechercher des informations et faire preuve d’analyse critique
• Savoir planifier son travail en pleine autonomie

MCC

Les épreuves indiquées respectent et appliquent le règlement de votre formation, disponible dans l'onglet Documents de la description de la formation.

Régime d'évaluation

CT (Contrôle terminal, mêlé de contrôle continu)

Coefficient

1.0

Évaluation initiale / Session principale - Épreuves